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电阻蒸发+手套箱复合镀膜机 ZHDS400


一、产品概述

1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

2、产品特点/用途:

► 设备一体化设计,占地面积小,价格优惠,性能稳定,使用维护成本低;

► 设备配备4~6组蒸发源,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;

► 适用于实验室制备金属单质膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;

► 适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。

 

二、技术参数

型号ZHDS400
镀膜方式多源蒸发镀膜
真空腔室结构方箱式前后开门;配置手套箱
真空腔室尺寸 L400×W440×H450mm
加热温度室温~300℃
旋转基片台120mm×120mm
基片台升降手动调节升降高度0~80mm
膜厚不均匀性≤±5.0%
蒸发源2组金属源,2~4组有机源
控制方式PLC/PC自动控制系统可选
占地面积主机L1100×W780×H1800mm,手套箱尺寸定制
总功率≥10KW