托(Torr)

帕(Pa)

低真空

760~10

101325～1333

中真空

10~10^-3

1333～1.33×10^-1

高真空

10^-3~10^-8

1.33×10^-1～10^-6

超高真空

10^-8~10^-12

10^-6～10^-10

极高真空

＜10^-12

＜10^-10

1Pa·l/s

1

10

7.5

9.87

59.2

1 mbar·l/s

0.1

1

0.75

0.987

5.92

1 Torr·l/s

0.133

1.33

1

1.32

78.9

1 atm·cm3/s

0.101

1.01

0.76

1

60

1 sccm

1.69×10^-3

1.69×10^-2

1.27×10^-2

1.67×10^-2

1

1立方米/秒(1m³/s)

1

1000

3600

2118.88

1升/秒(1L/s)

10^-3

1

3.6

2.119

1立方米/小时(1m³/h)

2.78×10^-4

0.278

1

0.59

1立方英尺/分(1cft/min)

4.72×10^-4

0.47

1.69

1

1 Pa

1

7.5
×10^-3

7.5

10

10^-2

9.86923
×10^-6

1.0197
×10⁵

2.953
×10^-4

1.450
×10^-4

1 Torr

133.32

1

10³

1333.2

1.3332

1.31579
×10^-3

1.3595
×10^-3

3.937
×10^-2

1.934
×10^-2

1 μmHg

0.13332

10^-3

1

1.3332

1.3332
×10^-3

1.31579
×10^-6

1.3595
×10^-6

3.937
×10^-5

1.934
×10^-5

1 μbar

10^-1

7.5
×10^-4

7.5
×10^-1

1

10^-3

9.86923
×10^-7

1.0197
×10^-6

2.953
×10^-5

1.450
×10^-5

1 mbar

10²

7.5
×10^-1

7.5
×10²

10³

1

9.86923
×10^-4

1.0197
×10^-3

2.953
×10^-2

1.450
×10^-2

1 atm

101325

760

760×10³

1013.25
×10³

1013.25

1

1.0333

29.921

14.696

1 am

98066.3

735.56

735.56
×10³

980663

980663
×10^-3

0.967839

1

28.959

14.223

1 inHg

3386

25.4

25.4×10³

3.386×10⁴

33.86

3.342
×10^-2

3.453
×10^-2

1

4.912
×10^-1

1 lb/in²

6895

51.715

51.715
×10³

6.895×10⁴

68.95

6.805
×10^-2

7.031
×10^-2

2.086

1

λ(厘米)

4.72×10^-3

4.72

47.2

472

4720

4.72×10⁶

n₀(个/厘米³)

4×10¹⁶

4×10¹³

4×10¹²

4×10¹¹

4×10¹⁰

4×10⁷

特性1

耐水性，耐酸性，耐碱性良好

渗透率小

耐油良好

23型耐强酸

特性2

出气量较大

升华严重

弹性较好

26型渗透率低出气率小

真空范围

1×10^－5托

10^－7托

10^－8托

10^-8托

温度

－30~80℃

－30~150℃

－30~120℃

-20~200℃

旋片真空泵

760~5×10^-4

往复真空泵

760~10^-2

滑阀真空泵

760~5×10^-3

吸附泵

760~10^-4

油增压泵

10^-1~10^-4

溅射离子泵

10^-4~10^-10

罗茨真空泵

10^-1~10^-4

钛升华泵

10^-3~10^-10

油扩散泵

10^-3~5×10^-7

分子泵

10^-3~10^-10

水环真空泵

760~25

低温泵

10^-3~10^-10